Lập danh mục các khu công nghệ cao trên địa bàn tỉnh, thành phố trực thuộc trung ương phải đáp ứng những điều kiện gì? Điều kiện chung thành lập khu công nghệ cao được quy định như thế nào? Nội dung phương án phát triển khu công nghệ cao bao gồm những gì?